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三星第 9 代 V-NAND 金屬布線量產(chǎn)工藝被曝首次使用鉬技術

7 月 3 日消息,根據(jù)韓媒報道,三星在其第 9 代 V-NAND 的“金屬布線”(metal wiring)中首次嘗試使用鉬(Mo)。

其中金屬布線工藝主要是使用不同的方式連接數(shù)十億個電子元器件,形成不同的半導體(CPU、GPU 等),可以說是“為半導體注入了生命”。

 

消息人士稱三星公司已從 Lam Research 公司引進了五臺 Mo 沉積機,此外還計劃明年再引進 20 臺設備。

 

除三星電子外,SK 海力士、美光和 Kioxia 等公司也在考慮使用鉬。和現(xiàn)有 NAND 工藝中所使用的六氟化鎢(WF6)不同,鉬前驅(qū)體(molybdenum precursor)是固態(tài),必須在 600℃ 的高溫下才能升華直接轉(zhuǎn)化為氣態(tài),而這個過程需要單獨的沉積設備。

 

關于三星半導體

三星提供新一代的半導體產(chǎn)品,包括動態(tài)隨機存取存儲器、固態(tài)硬盤、處理器、圖像傳感器以及廣泛的趨勢技術組合。

 

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點擊數(shù):0 | 更新時間:2024-07-03 15:00:26
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